Messverfahren

Inline-Messung der Abscheidegeschwindigkeit

Zur Messung von Schichtdicke und Abscheiderate wird ein stabförmiger Sensor in die Prozesslösung eingebracht, in der die Oberflächenbeschichtung stattfindet. Parallel zur Ware scheidet sich an der Spitze des Stabsensors Metall ab. Da die Bedingungen an Sensor und Ware sehr ähnlich sind, wird die Abscheidung auf der Ware gut durch den Sensor abgebildet.

Beim Stabsensor handelt es sich um einen Schwingungssensor. Durch die Abscheidung am Sensor verändert sich die Masse der Stabspitze. Diese Masseränderung wird als Frequenzänderung gemessen und daraus wird die Schichtdicke fortlaufend berechnet. Aus dem Verlauf der Schichtdicke wird wiederum die Abscheidegeschwindigkeit kontinuierlich abgeleitet. Bei galvanischen Prozessen kann aus der Abscheidegeschwindigkeit zusätzlich die Stromausbeute online berechnet werden.

Nach einer gewissen Messzeit wird eine maximale Schichtdicke erreicht. Dann ist ein Wechsel des an der Spitze des Stabsensors aufgeschraubten Probekörpers möglich. Alternativ kann die an der Sensorspitze abgeschiedene Schicht bei vielen galvanischen Prozessen anodisch aufgelöst werden. In diesem Fall entfällt der Probekörperwechsel.